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S51.ZT0SK-B1壓電偏擺臺
S51.ZT0SK-B1壓電偏擺臺是一款定制型壓電偏擺臺，可產(chǎn)生 θx、θy 兩軸偏轉(zhuǎn)及 Z 向直線運動，中心具有大型通孔，適于透射光等應用。
產(chǎn)品特點
θx、θy 偏擺，Z 向升降
閉環(huán)定位精度高
響應速度快
透光孔：200×200mm
可選真空版本
產(chǎn)品應用
掃描顯微
激光合束對準
干涉 / 計量
空間擾動模擬系統(tǒng)
生物技術(shù)
掩模與晶片位置調(diào)整
